產(chǎn)品名稱:SRM 2842 - 半導體薄膜:Alx鎵1-xAs外延層(Al摩爾分數(shù)x接近0.30) 標準品
英文名稱:Semiconductor Thin Film: AlxGa1-xAs Epitaxial Layers (Al mole fraction x near 0.30)
品牌:美國NIST
產(chǎn)品編號 | 規(guī)格 | 貨期 | 銷售價 | 您的折扣價 |
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SRM 2842 | disk | 現(xiàn)貨 | 27690 | 立即咨詢 |
本標準參考物質(zhì) (SRM) 旨在用作測量薄膜成分的分析方法的參考標準,例如電子微探針分析 (EMPA)、光致發(fā)光 (PL)、俄歇電子能譜 (AES) 和 X 射線光電子能譜(XPS)。 SRM 2842 的一個單元由 AlxGa1-xAs 外延層組成,在安裝的砷化鎵 (GaAs) 襯底上生長經(jīng)過認證的 Al 摩爾分數(shù) x使用膠帶粘貼到不銹鋼圓盤上。每個單元都密封在含有氮氣氣氛的聚酯薄膜信封中。正確使用 SRM 作為比較標準取決于分析方法(參見“測量條件和程序”和 NIST 特別出版物 260-163 [1])。
NIST SRM2842半導體薄膜:AlxGa1-xAs外延層(標準品)
認證鋁值:
NIST 認證值是 NIST 對其準確性有最高置信度的值,因為 NIST [2] 已調(diào)查或解釋了所有已知或可疑的偏差來源。鋁 (Al) 的認證值(以摩爾分數(shù)表示)在表 1 中提供。認證值基于 Al 摩爾分數(shù)與薄膜 PL 光譜中峰強度能量之間已確認的相關(guān)性 [3 ,4]。認證值的不確定度是擴展不確定度 (k = 2),旨在接近 95% 的置信水平 [5]。對每個 SRM 單元進行了兩次額外的質(zhì)量檢查。一、分子在樣品生長過程中監(jiān)測束外延生長系統(tǒng)。為了作為 SRM 被接受,由每個單元的反射高能電子衍射的強度振蕩確定的 Al 摩爾分數(shù)必須在其擴展的不確定性范圍內(nèi)與認證值一致。其次,薄膜的自由載流子濃度必須在 1 × 1016 cm-3 和 5 × 1016 cm-3 之間
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表 1. SRM 2842 中鋁的認證值(摩爾分數(shù))
鋁:樣品±樣品
證書到期:
SRM 2842 的認證在規(guī)定的測量不確定度范圍內(nèi)有效,有效期至 2031 年 8 月 1 日,前提是按照本證書中給出的說明處理和儲存 SRM(參見“處理、儲存和使用說明”) )。如果 SRM 損壞、污染或以其他方式修改,則認證無效。表面氧化和污染會因使用和儲存而增加標本。對于對表面污染敏感的應用,SRM 和未知樣品需要就地清潔,通常是光濺射。如果濺射薄膜導致薄膜明顯變粗糙或出現(xiàn)選擇性濺射跡象,則應更換 SRM。
NIST SRM2842半導體薄膜:AlxGa1-xAs外延層(標準品)